- 기준카테고리 : 구리웨이퍼
제품설명
Ti/실리콘 웨이퍼 위의 Cu 필름, Cu Film on Ti/Silicon Wafer, 4in, Cu=100nm Ta=20nm, Si(100) B-doped
- · 대표판매가
- 10원
- · 공 급 원
- 해외제조사
- · 판 매 처
- 주식회사 비전랩사이언스
- · 연 락 처
- 032-861-0282
- · 리 드 타 임
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상세정보
Ti/실리콘 웨이퍼 위의 Cu 필름
Cu Film on Ti/Silicon Wafer, 4in, Cu=100nm Ta=20nm, Si(100) B-doped
사양:
- Cu코팅 Si웨이퍼 (4인치사이즈)
- 고배향 다결정 Cu <111> 필름의 두께: 100nm
- Ta 확산 차단막의 두께: 20nm
- 4인치다이아x0.525mm두께 Si웨이퍼 (프라임등급)
- P형, B형 도핑, <100> 방향, SSP
- 저항률: 1-20옴-cm
- 표면 거칠기: 성장 시 RA < 10 nm
- 패키지 : 1000등급 클린룸 1개 100등급 비닐봉투