Surf-Cal

Description
Thermo Fisher Scientific™은 반도체산업 및 SEMI와 함께 Scanning Surface Inspection System을 보정할 때 사용할 특정 입자 크기를 확립 했습니다.
당사는 기기 제조업체들과 협력하여 SEMI 표준 지침을 충족시키는 SURF-CAL™ 제품군을 만들었습니다.
ITRS(전 세계 반도체 기술 로드맵)에서 정의한 필수 입자 선별 노드로 여겨지고 있습니다. SURF-CAL™ NIST™ 추적 가능 폴리스티렌 라텍스 구체(PSL)를 엄선한 웨이퍼에 증착시켜 정기적인 보정 점검을 수행하고 내 스캐 너를 다른 위치의 스캐너와 비교할 수 있습니다. 또한 제조 과정의 중요 단계에서 SSIS의 성능을 평가할 수 있습니다. 제품은 mL당 3 × 108 입자 농도의 50mL 병에 든 탈이온 여과수에 부유되어 제공됩니다.

참고: 제품 PD1100 이하 크기의 제품은 mL당 1010 개 입자 농도로 제공되며 미분형정전분급기(DMA) 또는 기타 크기 배제 기술을 사용하 는 응용 분야에 이용할 수 있습니다.

응용분야
· Wafer 입자 증착 용도
· wafer 보정 용도
· 반도체 회사의 생산품 표면 입자 스캔, 시스템 검사용.