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6inch Nitride(Si₃N₄) wafer
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* Wafer Spec *
Grade : test
Type : P
Orientation :<100>
Thickness : 525±25µm
Resistivity : 1~30Ω
Surface : SSP (Single Side Polished)
Origin : STC (Japan)

* 장비 Spec *
Equipment : LPCVD(Low Press Chemical Vapor Deposition)
Uniformity : ±5%
증착형태 : 양면증착

* Normal 공정 과 Low Stress 공정 중 선택 가능합니다.
* Prime wafer 및 저저항 웨이퍼에도 Nitride(SiNx) 증작이 가능합니다.
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